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西门子法是由德国Siemens公司发明并于1954年申请了1965年左右实现了工业化。行业普遍亏损导致较多的产能已开始退出，多晶硅价格将会维持在20-23美元/公斤之间才能覆盖多晶硅企业的全成本，使得部分企业盈利。经过几十年的应用和展，西门子法不断完善，先后出现了代、第二代和第三代，第三代多晶硅生产工艺即改良西门子法，它在第二代的基础上增加了还原尾气干法回收系统、SiCl4回收氢化工艺，实现了完全闭环生产，是西门子法生产高纯多晶硅技术的新技术，其具体工艺流程如图1所示。硅在西门子法多晶硅生产流程内部的循环利用。
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据报道，在50～60微米多晶硅衬底上制作的电池效率超过16%。据测算，按照上海目前的日照情况，每1万元的设备一年能发1200度电，假设并入***电网且全部补贴到位后，每度电可得到约1。利用机械刻槽、丝网印刷技术在100平方厘米多晶上效率超过17%，无机械刻槽在同样面积上效率达到16%，采用埋栅结构，机械刻槽在130平方厘米的多晶上电池效率达到15.8%。

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