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电池片的制作工艺

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刻蚀工艺

刻蚀目的

将硅片边缘的带有的磷去除干净，避免 PN 结短路造成并联电阻降低。

刻蚀原理

采用干法刻蚀。采用高频辉光放电反应， 采用高频辉光放电反应，使反应气体***成活性粒子，如原子或各种游离基，这些活性粒子扩散到硅片边缘，在那里与硅进行反应，形成挥发性生成物四***而被去除。

化学公式： CF 4 +SIO 2 =SIF 4 +CO 2

工艺流程

预抽，主抽，送气，辉光，抽空，清洗，预抽，主抽   ，充气。

影响因素

1. 射频功率

射频功率过高：等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤，导致边缘区域的电性能差从而使电池的性能下降。在结区（耗尽层）造成的损伤会使得结区复合增加。

射频功率太低：会使等离子体不稳定和分布不均匀，从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足，导致并联电阻下降。

2. 时间

刻蚀时间过长：刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大，时间长到一定程度损伤不可避免会延伸到正面结区，从而导致损伤区域高复合。

刻蚀时间过短：刻蚀不充分，没有把边缘鳞去干净， PN 结依然有可能短路造成并联电阻降低。

4.   压力

压力越大，气体含量越少，参与反应的气体也越多，刻蚀也越充份。

参数相互关系

1. 压力与间距：压力越大时，间距也大；因为压力大时，与网板接触的地方凸出来也多，间距小的话，硅片承受的压力加大，碎片的概率会加大。两个参数当中的一个改变 ,  另外一个不改 ,  就可能加大硅片碎的可能性或影响印刷质量。  

2. 印刷速度影响到产能 ,  同时也影响到印刷到硅片浆料的多少。

印刷参数的调整

1. 先把印刷速度改小，以方便在调试时能很好的观察（如印刷速度为 50mm ) 。   完全松***定螺丝，并保证和回左右的固定螺丝未锁，能自由活动。

2. 先设定印刷间距：印刷间距以浆料能很好的印刷到硅片为宜，无粘片和虚印。 (  推荐为： 1.5 + 0.3)

3. 在间距定下后，设定印刷压力。压力由小到大慢慢加，加到在印刷时浆料能收干净就可以。

参数的调整

4. 在压力和间距设定好后，印刷一片看看印刷是否合格，否则再作微调。（印刷速度未改）

5. 合格后，   慢慢朝下拧锁定螺丝，在感觉到锁定螺丝刚碰到东西时，把锁定螺丝锁住。这个动作相当于找到了一个刮胶下降的一个限位，保证在压力加大时不会再下压。

6. 然后加快印刷速度，并测印刷重量，如过大，则减速，过小，则加速。（推荐 170mm ) 。

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晶硅太阳能光伏板的制做全过程 

5、镀减反射膜打磨抛光硅表层的透射率为35%,以便降低表层反射面,提升充电电池的变换,必须堆积一层层氮化硅减反射膜。如今工业化生产中常会选用PECVD机器设备制取减反射膜。PECVD即低温等离子增强型化学气相沉积。它的技术性基本原理是运用低温等离子作能量源，试品放置低气压下辉光放电的负极上，运用辉光放电使试品提温到预订的溫度，随后进入适当的反映汽体SiH4和NH3，汽体经一连串放热反应和等离子技术反映，在试品表层产生固态硬盘塑料薄膜即氮化硅塑料薄膜。通常状况下，应用这类低温等离子增强型化学气相沉积的方式 堆积的塑料薄膜薄厚在70nm上下。那样薄厚的塑料薄膜具备电子光学的多功能性。运用薄膜干涉基本原理，能够使全反射大得降低，充电电池的短路容量和輸出总有挺大提升，也是非常的提升。

6、油墨印刷太阳电池历经制绒、外扩散及PECVD等工艺流程后，早已做成PN结，能够在阳光照射下造成电流量，以便将造成的电流量导出来，必须在充电电池表层上制做正、负2个电级。生产制造电级的方式 许多，而油墨印刷是现阶段制做太阳电池电级广泛的这种生产工艺流程。油墨印刷是选用印压的方法将预订的图型包装印刷在基钢板上，该机器设备由充电电池反面银铝浆包装印刷、充电电池反面铝浆包装印刷和充电电池反面银浆包装印刷三一部分构成。其原理为：运用金属丝网图型一部分孔环穿透料浆，用刮板在金属丝网的料浆位置释放必须工作压力，一起朝金属丝网另一头挪动。印刷油墨在挪动中被刮板从图型一部分的孔环中挤压成型到基片上。因为料浆的黏性***使印痕固着在必须范围之内，包装印刷中***自始至终与丝网版版和基片呈线形触碰，触碰线随刮板挪动而挪动，进而进行包装印刷行程安排。

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电池片丝网印刷技术

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电池片丝网印刷技术

5  设备  

对设备的要求有如下 3 点：  

（ 1 ）工作台的平面度。印刷时电池片被吸附于工作台表面，如表面不平，在负压下电池片易裂，以 150mm 电池片为例，工作台的平面度不大于 0.02mm ；  

（ 2 ）工作台重复***精度。根据太阳能电池片的精度要求，工作台重复***精度达到 0.01mm 即能满足工艺要求；  

（ 3 ）印刷时丝网与工作台的平行度决定印刷膜厚度的一致性，根据使用要求，以 150mm 电池片为例二者平行度 0.04mm 。

电池片的平面度不大于 0.02mm ，表面粗糙度低于 1.6 。  

6  结束语  

    太阳能电池印刷是电池片生产线的重要工序，对电池片的质量起着重要作用，太阳能电池印刷技术是一个有机的整体，是各种技术的组合，需要工艺工程师和设备工程师的协同工作：既要了解各个参数的特点，又要了解其相互的制约关系； 3 种印刷工序既有相同之处又有区别，需要针对不同工序的具体要求分。